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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科真空泵有油維修；

市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機(jī)器制造所、和等，按收入計(jì)，2021年大廠商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入計(jì)，2021年市場(chǎng)份額為%，預(yù)計(jì)2028年份額將達(dá)到%。同時(shí)就應(yīng)用來(lái)看，半導(dǎo)體行業(yè)在2028年份額大約是%，未來(lái)幾年CAGR大約為%。

根據(jù)不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細(xì)分為:

 低于1500升/秒

1500到3000升/秒

 高于3000升/秒

根據(jù)不同應(yīng)用，本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域：

 半導(dǎo)體行業(yè)

 光伏行業(yè)

 鍍膜行業(yè)

 其他

渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

（1）抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系抽速與轉(zhuǎn)速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數(shù)；u是活動(dòng)刀片的轉(zhuǎn)速。隨著速度的增加，泵送速度比直線略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對(duì)進(jìn)氣管電導(dǎo)率的限制來(lái)解釋。根據(jù)（4-66），隨著S1的增加，S將偏離直線。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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用于氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的多為抽速60L/s左右的小型泵,對(duì)氦氣的壓縮比在1000左右。分子泵的抽速與動(dòng)葉輪的轉(zhuǎn)速有關(guān)，只有動(dòng)葉輪的切向速度與氣體分子的熱運(yùn)動(dòng)速度相當(dāng)時(shí)才有抽氣能力,且抽速隨轉(zhuǎn)速而增,所以抽速在50~150L/s之間的小型分子泵的轉(zhuǎn)速通常達(dá)到90000~40000轉(zhuǎn)/分。分子泵的另一性能指標(biāo)是,壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力之比,壓縮比于轉(zhuǎn)速及分子量的關(guān)系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數(shù);U為葉輪轉(zhuǎn)速;M為氣體的分子量?？梢?jiàn)分子量大的氣體壓縮比大。氦質(zhì)譜檢漏儀中,逆擴(kuò)散檢漏正是利用分子泵對(duì)小分子量氦氣的低壓縮比，而且，還通過(guò)降低葉輪轉(zhuǎn)速，降低對(duì)He的壓縮比,從而提高對(duì)氦氣的響應(yīng)靈敏度。

改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的轉(zhuǎn)速,分子泵的壓縮比會(huì)發(fā)生變化,分子泵的轉(zhuǎn)速由1500Hz改變?yōu)?000Hz,分子泵的壓縮比會(huì)變小，進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分壓增加，檢漏儀檢測(cè)到氦信號(hào)會(huì)變大，試驗(yàn)中,檢漏儀在1000Hz下的信號(hào)是1500Hz信號(hào)的3.5倍，也就是說(shuō)分子泵在1500Hz的壓縮比;是1000Hz的3.5倍。

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氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥，現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。

同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵，以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在檢漏儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。還可以使用app遠(yuǎn)程操控檢漏儀，并實(shí)時(shí)監(jiān)控檢漏儀顯示漏率。

無(wú)論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統(tǒng)，還是用于常規(guī)工業(yè)真空加工的熱處理系統(tǒng)，或適合在車間中實(shí)時(shí)檢測(cè)泄露的快速耐用的便攜解決方案，都可提供相應(yīng)的解決方案。：氦質(zhì)譜檢漏儀中分子泵與油泵有什么區(qū)別？現(xiàn)今，越來(lái)越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。

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